壓力傳感器的工作原理
半導(dǎo)體式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
●傳感器芯片的結(jié)構(gòu)：
硅芯片受壓部(硅隔膜)與通常的IC制作工藝相同,利用雜質(zhì)擴(kuò)散原理形成硅應(yīng)變片.
當(dāng)向硅芯片施加壓力時,電阻應(yīng)變片的電阻值會隨著其變形而改變,并轉(zhuǎn)換為電信號。(壓阻效應(yīng))
該應(yīng)變片有靈敏系數(shù)較大的特征。(相對于金屬應(yīng)變片的2-3,硅應(yīng)變片為幾10～100)。
因此能夠得到較高的輸出,從而使隔膜的厚度可以制作得更大,提高了壓力傳感器的耐壓性。
半導(dǎo)體式壓力傳感器如：
VDP4, VSW2 (低壓用)等
●半導(dǎo)體隔膜式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明：
半導(dǎo)體隔膜式壓力傳感器采用雙重隔膜方式,由直接與測量介質(zhì)接觸的高耐腐蝕性金屬隔膜(相當(dāng)于Hastelloy哈氏合金C-22,SUS316L等)與通過封入的硅油檢測壓力的硅芯片(硅隔膜)構(gòu)成。
通過壓力導(dǎo)入口直接與測量介質(zhì)接觸的是SUS316L隔膜(或相當(dāng)于Hastelloy哈氏合金C-22等) ,介質(zhì)(空氣、水、油及其他)不會浸入其中，能夠穩(wěn)定測量。[連接螺絲的形狀為G3/8時,與配管間采用0型圈密封(氯橡膠) 。]
●特點(diǎn)：
可以制作能夠測量正壓、負(fù)壓、連成壓、絕對壓力的各種傳感器元件
直接接觸介質(zhì)的受壓部可以采用相當(dāng)于Hastelloy哈氏合金C-22SUS316L的材料制作,因此,耐腐蝕性能優(yōu)良
用于檢測壓力的硅芯片,其隔膜厚度較大,因此,具有優(yōu)良的耐壓性能
●對象機(jī)型
半導(dǎo)體隔膜式壓力傳感器
VESW、 VESX、 VESY、 VESZ、 VHR3 、 VHG3、 VAR3、 VAG3、
VPRNP。VPNPR， VPNPG， VNF， HSI， HV1， ASI， AV1，
NS1, NV1 , VESI, VESV, VSW2, VST等
應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
●應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
在受壓部金屬隔膜的內(nèi)側(cè)粘貼左圖的電橋,金屬隔膜的形變會隨著壓力的施加而改變,檢測出由此帶來的電壓變化。
即使在金屬隔膜面內(nèi),形變量的大小也并不一樣,因此采用在四個位置粘電阻的結(jié)構(gòu),這樣即使形變量不均勻,也能準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測。
●特點(diǎn)：
隔膜采用無焊縫及0型圈接縫的一體式結(jié)構(gòu),非常堅固,使用壽命長
支持高精度、高溫(150℃)的制作
●對象機(jī)型
應(yīng)變片式壓力傳感器VSD4, NSMS-A6VB, HSSC, HSSC-A6V, VHS, VHST , HSMC2,
VPVTF. VPVQ, VPVQF, VPRF, VFM, VF, VFS. VTRF, VPRF2VPRH2等HSMC。VPE， VPB， VPRT， VPRTF， VPRQ， VPRQF， VPVT，VPVTF，VPVQ，VPVQF，VPRF，VFM，VF，VFS，VTRF，VPRF2，VPRH2等。
薄膜式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
薄膜式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
●薄膜式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與動作說明
本公司的薄膜式壓力傳感器為隔膜式,采用金屬薄膜應(yīng)變片。從壓力導(dǎo)入口施加壓力后,隔膜發(fā)生變形,從而使隔膜上形成的金屬薄膜應(yīng)變片產(chǎn)生形變,檢測由此產(chǎn)生的電阻值變化。
與應(yīng)變片式壓力傳感器相比,可獲得更高靈敏度的輸出,另外,與半導(dǎo)體式壓力傳感器相比,具有溫度系數(shù)小的特點(diǎn)。
●特點(diǎn)
由于溫度系數(shù)恒定,因此溫度特性非常優(yōu)良
隨時間的變化較小,能夠得到長期穩(wěn)定的輸出
支持高溫環(huán)境
●對象機(jī)型
.VSW2。VPG8
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測量原理
在輸入端有電流的狀態(tài)下,向金屬薄膜應(yīng)變片上施加壓力,則在輸出端表現(xiàn)出電信號的變化。
