壓力傳感器的工作原理
半導(dǎo)體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
傳感器芯片結(jié)構(gòu)
在硅芯片受壓部（硅膜片）中，與通常的IC制造工序相同，通過雜質(zhì)擴(kuò)散形成硅量規(guī)。
當(dāng)對硅芯片施加壓力時(shí)，表電阻根據(jù)撓度變化，并轉(zhuǎn)換為電信號。（抗磁阻效應(yīng)）
該量規(guī)的特征在于較大的量規(guī)系數(shù)。（金屬規(guī)格為2到3，而硅規(guī)格為10到100）。
因此，可以獲得高輸出，從而可以用厚的膜片來制造并且可以改善壓力傳感器的耐壓性。
適用機(jī)型
半導(dǎo)體型壓力傳感器
VDP4，VSW2（低壓）等
半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器是直接接觸測量介質(zhì)的高度耐腐蝕的金屬膜片（例如Hastelloy C-22或SUS316L），以及通過封閉的硅油檢測壓力的硅芯片（硅膜片）。 ）被使用。
SUS316L膜片（或Hastelloy C-22等）通過壓力入口與測量介質(zhì)直接接觸，從而可以穩(wěn)定地測量不會浸透的介質(zhì)（空氣，水，油等）。 。[O形圈（氟橡膠）用于在連接螺紋形狀為G3 / 8時(shí)與管道進(jìn)行密封。]
特色功能
可以制造可以測量正壓力，負(fù)壓力，復(fù)合壓力和絕對壓力的各種傳感器元件。
耐腐蝕性能極佳，因?yàn)橹苯咏佑|介質(zhì)的受壓材料等效于Hastelloy C-22，并且可以用SUS316L制造。
厚厚的硅芯片隔膜可檢測壓力，因此具有出色的耐壓性
適用機(jī)型
半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器
VESW，VESX，VESY，VESZ，VHR3，VHG3，VAR3，VAG3，VPRNP，VPNPR，VPNPG，VNF，HS1，HV1，AS1，AV1，NS1，NV1，VESI，VESV，VSW2，VST等
應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
左圖所示的電阻橋粘貼在受壓部的金屬膜片的背面，將因壓力而變化的金屬膜片的變形量檢測為電壓變化。
由于在金屬膜片表面上存在變形量高低的地方，因此連接了四個(gè)電阻，因此，即使變形量存在偏差，也可以正確地檢測結(jié)構(gòu)。
特色功能
無縫的隔膜和焊接的O型圈接頭，堅(jiān)固耐用，使用壽命長
高精度，高溫（150℃）兼容生產(chǎn)
適用機(jī)型
應(yīng)變片壓力傳感器
VSD4，NSMS-A6VB，HSSC，HSSC-A6V，VHS，VHST，HSMC2，HSMC，VPE，VPB，VPRT，VPRTF，VPRQ，VPRQF，VPVT，VPVTF，VPVQ，VPVQF，VPRF，VFM，VF ，VFS，VTRF，VPRF2，VPRH2等。
薄膜型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
薄膜型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說明
我們的薄膜型壓力傳感器是隔膜型，并使用金屬規(guī)格的薄膜。當(dāng)從壓力入口施加壓力時(shí)，膜片變形，并且檢測到當(dāng)在膜片上形成的金屬規(guī)薄膜變形時(shí)發(fā)生的電阻變化。
與應(yīng)變計(jì)壓力傳感器相比，可以獲得高靈敏度的輸出，并且溫度系數(shù)小于半導(dǎo)體壓力傳感器的溫度系數(shù)。
特色功能
恒定的溫度系數(shù)，具有出色的溫度特性
長期穩(wěn)定的輸出，幾乎沒有長期變化
能夠處理高溫（200°C）
適用機(jī)型
VSW2
測量原理
當(dāng)輸入端有電流流動并且在金屬量規(guī)薄膜上施加壓力并發(fā)生變形時(shí)，它表現(xiàn)為輸出側(cè)電信號的變化。
